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沈陽科友真空技術有限公司公告
硬質涂層設備

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VacSputter-65磁控濺射鍍膜設備

2019-02-16 點擊量:

產品特點 Product features:
1.使用與美國西南研究院(SwRI)合作開發研制的新型鍍膜技術-等離子體增強磁控濺射技術;
Utilize a novel coating technology in cooperation with the Southwest Research Institute (SwRI)—
Plasma Enhanced Magnetron Sputtering (PEMS);
2.更高的沉積效率,更致密的涂層,更小的表面粗糙度,涂層厚度最高可達560um;
Higher deposition rate, denser structure, smoother morphology, up to 560um coating thickness;
3.刀具,微型刀具,模具,汽車,飛機發動機零部件涂層的理想選擇;
Ideal for large quantities of cutting tools, microtools, stamping, die-casting, plastic moulding, aircraft and automobile engine parts;
4.可對產品進行涂前氮化處理;
Provide ion nitriding case hardening process before PVD coating;
5.可同爐沉積最多4種不同成分靶材材料;
Evaporation up to 4 target materials per batch.

技術參數 Technical Parameters:

SKYVAC VacSputterTM 65
轉盤直徑 Swing diameter 380mm
涂層有效高度 Coatable height 380mm
最大裝載量 Max. loading capacity 100kg
技術 Technology  磁控濺射 Sputtering
磁控濺射源 Sputtering sources 4組磁控濺射源 4 sets
可選技術 Technology options 等離子體增強磁控濺射及涂前氮化處理
PEMS and nitrogen treatment
氣體 Gas modules Ar, N2, H2, C2H2, O2, He
最大加熱溫度 Max. heating temperature 500℃


設備尺寸 Dimensions  
長 Length 2820mm
寬 Width 1410mm
高 Height 2356mm
占地面積 Footprint 4m2
重量 Weight 3360kg

 

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