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沈陽科友真空技術有限公司公告
離子束鍍膜及離子束刻蝕設備

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LSJ500E離子束濺射鍍膜機

2017-02-16 點擊量:

1. 采用Kaufman離子源進行濺射鍍膜,寬束離子源進行工件預清洗與輔助濺射沉積,以提高薄膜的質量和結合強度
2. 適合鍍制金屬薄膜、半導體薄膜、介質薄膜、磁性薄膜、光學薄膜等。除了鍍樣品平面,在結構上也可以設計成微電子器件側面電極鍍膜??捎糜诠鈻佩兡?、MEMS半導體器件鍍膜、紅外器件工藝鍍膜等生產和科研工作

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